Hoʻohana pinepine ʻia nā aniani F-Theta me nā aniani scan galvanometer i ke kaha kiʻi laser, ʻokiʻoki, a me nā ʻōnaehana māka. ʻO ka maʻamau, mālama ʻia ka distortion F-Theta o ka aniani ma lalo o 1% i hiki ai iā ia ke hana i kahi kikoʻī ma ke kahua pālahalaha ma ka mokulele kiʻi.
Ke anawaena o ke ahonui: +0/-0.13mm
Ka hoʻomanawanui mānoanoa: ±0.25mm
Ka hoʻomanawanui ʻana o ka lōʻihi o ke kikowaena: ±2%
Ka ʻokoʻa o ka mānoanoa o ka lihi (ETV): ≤3 arc min.
Mākaʻikaʻi ka puka: >90%
Surface Flatness: λ/4 per 1″ Dia@632.8nm
ʻAno o ka ʻili: 40-20 SD
Uhi AR: R<0.2% no kēlā me kēia ʻili @10.6μ